SiC Wafer (Dummy grade)               

Size：     100 mm ± 0.5 mm                    

Thickness：  350 ± 25, 500 ± 25 µm      

Micro pipe density (300K)：     ≤ 10cm⁻²

SiC Wafer (Research grade)            

Size：     100 mm ± 0.5 mm                    

Thickness：  350 ± 25, 500 ± 25 µm      

Micro pipe density (300K)：     ≤ 10cm⁻²

SiC Wafer (Production grade)        

Size：     100 mm ± 0.5 mm                    

Thickness：  350 ± 25, 500 ± 25 µm      

Micro pipe density (300K)：     ≤ 10cm⁻²

SiC Wafer (Ultra low MPD)              

Size：     100 mm ± 0.5 mm                    

Thickness：  350 ± 25, 500 ± 25 µm      

Micro pipe density (300K)：     ≤ 10cm⁻²